◎ 晶圆规格：4、6、8、12英寸晶圆及方板

◎ 处理能力：13pcs/次、25pcs/次、50pcs/次等

◎ 槽体功能：循环、过滤、加热、冷却、抛动、干燥、清洗等功能

◎ 工艺槽体：石英、PVDF、PTFE、SUS316L、NPP

◎ 管路选配：PVDF、PFA、PP、CL-PVC

◎ 循环泵选配：IWAKI/Pillar/Trebor等

◎ 过滤器选配：美国PALL、美国Entegris、科百特等

◎ 阀门选配：CKD、Gemu、Kitz、SMC、SEBA等

◎ 触摸屏选配：PROFACE、三菱、SIEMENS、OMRON

◎ PLC选配：三菱、SIEMENS、OMRON