◎ 晶圆规格：4、6、8、12英寸晶圆

◎ 处理能力：根据产能需求配置多个腔体

◎ 3Cup设计：单腔3Cup设计，可以连续刻蚀两种金属

◎ 腐蚀能力：腐蚀后无金属残留，8&12寸均匀性＜5%

◎ 破片率：Wafer破损率＜10ppm

◎ FFU：设备配备FFU，CLASS 100环境

◎ 阀门选配：CKD、Gemu、Kitz、SMC、SEBA等

◎ 触摸屏选配：PROFACE、三菱、SIEMENS、OMRON

◎ 系统可靠性：Uptime≥95%，MTBA ＞3 hrs，MTBF ＞240 hrs，MTTR ＜4 hrs